میکروسکوپ الکترونی روبشی
Scanning Electron Microscopy
میکروسکوپ الکترونی روبشی(SEM) یکی از بهترین روش های آنالیزی است که امروزه در حوزه های مختلف کاربردهای فراوانی دارد. این میکروسکوپ، امکان بررسی و آنالیز شیمیایی، ترکیب، سطح و ریزساختار داخلی را در ابعاد اتمی و نانومتری فراهم آورده است. بررسی ها با این میکروسکوپ در کل به دو گروه میکروسکوپی و اسپکتروسکوپی تقسیم می شود که مورد اول برای بررسی، فازها، ذرات، مورفولوژی و ... است و حالت دوم برای بررسی های شیمیایی لایه های بیرونی همچون سطح به کار برده می شود.
در میکروسکوپ الکترونی روبشی، یک پرتو الکترونی در یک پروپ متمرکز شده و سطح نمونه را پیمایش می کند. در برخورد الکترون با نمونه سیگنال های مختلفی شامل :
الکترون های برگشتی (back scatter electrons)
الکترون اوژه(Auger electron)
الکترون های عبوری (Transmitted electrons)
الکترون های جذب شده (absorbed electrons)
پرتو ایکس (X-Ray) و لومیسانس(Luminance) ایجاد شده و قابل شناسایی هستند.
ویژگی های میکروسکوپ الکترونی روبشی
نانو ذرات و پودرها (nano-particles and powders)
نانو لوله ها و سیم ها (nano-tubes and wires)
مواد نارسانا (Plastic electronics)
مواد نیمه رسانا (Semiconductor)
بسترهای شیشه ای (glass substrates)
مواد آلی (organic materials)
لایه های الماس (diamond films) و ...
امکان بررسی انواع نمونه ها مانند :
برخورداری از منبع گسیل میدانی (FESEM)، (برخودار از جریان بالا و پایدار با استفاده از Schottky gun).
قابلیت کار در سه حالت :
Low Vacuum
High Vacuum
Environmental SEM (ESEM)
تغییر فشار و دمای نمونه (-165@1400) در حالت (ESEM)و بررسی استحاله های فازی، اکسیداسیون، رشد بلور و شوک حرارتی به صورت لحظه ای.
Resolution
مجهز به انواع آشکارسازها از جمله :
In-lens SE detector (TLD-SE)
In-lens BSE detector (TLD-BSE)
Everhardt-Thornley SED
Low vacuum SED (LVD)
بسته به نیاز می توان آشکارساز‌های دیگری از جمله EDS, WDS, EBSD, CL, Raman,… اضافه نمود.
